一、設(shè)備概況1.1應(yīng)用領(lǐng)域：適用于晶圓拋光后，陶瓷盤上晶圓實(shí)現(xiàn)無接觸式下片。1.2名稱：無接觸式晶圓下片機(jī)1.3型號：XP-81.4尺寸：長1190mm*寬600mm*高1120mm1.5晶圓規(guī)格：2-6英寸二、主要技術(shù)參數(shù)項(xiàng)目主要性能指標(biāo)和參數(shù)加工尺寸2-6英寸圓片陶瓷盤直徑485mm（不同尺寸盤， 需更換不同夾具）陶瓷盤工作臺數(shù)量（個）1下片工位2單片下片時(shí)間4寸30秒/每片單次下片數(shù)1片Eq
一、設(shè)備概況
1.1應(yīng)用領(lǐng)域： 適用于晶圓拋光后， 陶瓷盤上晶圓實(shí)現(xiàn)無接觸式下片。
1.2名稱： 無接觸式晶圓下片機(jī)
1.3型號： XP-8
1.4尺寸： 長 1190mm*寬 600mm*高 1120mm
1.5晶圓規(guī)格： 2-6 英寸
二、主要技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 主要性能指標(biāo)和參數(shù) |
加工尺寸 | 2-6 英寸圓片 |
陶瓷盤直徑 | 485mm（不同尺寸盤， 需更換不同夾具） |
陶瓷盤工作臺數(shù)量（個） | 1 |
下片工位 | 2 |
單片下片時(shí)間 | 4寸 30秒/每片 |
單次下片數(shù) | 1片 |
Equipment Dependent Update (%; Average) | 95% |
供水 | 大于0.3Mpa， 管接口 1/2（內(nèi)螺紋） |
供氣 | 0.25-0.3Mpa， 管接口Φ10mm |
管路流量 | 25L/Min |
單片用水 | 2.5-4L/片 |
溢流槽容積 | 46L（噴淋水會直接到溢流槽，實(shí)現(xiàn)循環(huán)） |
氮?dú)鈮毫?/span> | 0.25-0.3Mpa，氮?dú)夤芙涌?/span>3/8” |
排水管 | 40mm 圓管 PP 管 |
控制系統(tǒng) | 可編程控制器 |
顯示 | 4.3寸觸摸屏 |
電源 | AC220V |
整機(jī)功率 | 2KW |
外型尺寸（深*寬*高）mm | 長 1190mm*寬 600mm*高 1120mm |